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Dr. Frank Hoefler
Ionenchromatographie - Ionische Verunreinigungen in ReinstwasserQualitätskontrolle Halbleiter - von Dr. Frank Hoefler
Mit jeder neuen Computerchip-Generation werden die Anforderungen an die Reinheit der eingesetzten Chemikalien höher. Heute wird zum Spülen der Siliziumwafer Reinstwasser benötigt, das einen Gehalt an ionischen Verunreinigungen von nur wenigen ng/L aufweist. Für die Überwachung der Reinstwasseranlage und die Bestimmung der Anionen- und Kationenverunreinigungen hat sich die Ionenchromatographie als ideales analytisches Verfahren bewährt.
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